基于非均匀采样校正的抗振动白光干涉测量方法
授权
摘要
本发明公开了一种基于非均匀采样校正的抗振动白光干涉测量方法,所述方法包括以下步骤:采集待测件的白光干涉图序列和准单色光干涉图序列;对准单色光干涉图进行基于频域峰值亚像素定位的振动倾斜平面计算,并利用这些倾斜平面计算白光干涉图中每个像素位置的非均匀移相采样间隔;利用非均匀傅里叶变换校正白光干涉信号;对校正后的白光干涉信号进行调制度峰值位置的提取,以此恢复被测件表面的形貌分布。本发明采用双通道的白光干涉系统分别获取单色光干涉图序列以及白光干涉图序列,利用单色光干涉图序列来解算出振动影响下的采样间隔误差,以此来校正畸变的白光干涉信号,复原出被测件表面的形貌分布,该方法成本较低且测量精度高。
基本信息
专利标题 :
基于非均匀采样校正的抗振动白光干涉测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112525070A
申请号 :
CN202011298694.3
公开(公告)日 :
2021-03-19
申请日 :
2020-11-18
授权号 :
CN112525070B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
李建欣毕书贤段明亮宗毅王佳欣
申请人 :
南京理工大学
申请人地址 :
江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
代理机构 :
南京理工大学专利中心
代理人 :
朱炳斐
优先权 :
CN202011298694.3
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-04-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20201118
申请日 : 20201118
2021-03-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载