一种基于倾斜平面高精度提取的抗振动干涉测量方法
授权
摘要

本发明公开了一种基于倾斜平面高精度提取的抗振动干涉测量方法,包括以下步骤:对振动环境下采集的干涉图进行Fourier变换,并在频域中提取+1级峰值坐标;以步骤1得到的峰值坐标为中心,细化其周围频谱数据,获得新的峰值坐标,重复该过程直至获得亚像素精度峰值坐标;利用所述亚像素精度峰值坐标求解倾斜相位平面;利用最小二乘法求解最终相位分布信息。本发明无需对干涉仪进行硬件改动,具有较强的实用性和适用性,有望为振动环境下的移相干涉测量提供一种低成本、高精度的解决方案。

基本信息
专利标题 :
一种基于倾斜平面高精度提取的抗振动干涉测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112066909A
申请号 :
CN202010857538.X
公开(公告)日 :
2020-12-11
申请日 :
2020-08-24
授权号 :
CN112066909B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
李建欣卢文倩段明亮宗毅许逸轩
申请人 :
南京理工大学
申请人地址 :
江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
代理机构 :
南京理工大学专利中心
代理人 :
朱炳斐
优先权 :
CN202010857538.X
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-08 :
授权
2020-12-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20200824
2020-12-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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