一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置
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摘要
本实用新型涉及一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置，包括底座；底座两侧各设置一组支撑柱；每一组连接推动部一侧均与支撑柱连接；每一组连接推动部另一侧均对应连接一组夹持部，且使两组夹持部沿相对方向做夹紧或放松运动；每一组夹持部上均具有与光学元件侧面抵接的弹性件；力传感器固定于连接推动部上用于测量夹持部对光学元件夹持力的反作用力。光学元件通过底座、两侧的夹持部三点夹持，保证了光学元件装夹的稳定，弹性件有利于改善夹持部对光学元件的夹持力的均匀性，从而减小光学元件变形及其对检测精度的影响；力传感器用于测量夹持部对光学元件夹持力的反作用力，为夹持过程中调节夹持力的大小提供参照。
基本信息
专利标题 ：
一种高精度光学元件干涉检测中的装夹装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921944189.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-12
授权号 ：
CN211178342U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
廖德锋谢瑞清赵世杰侯晶陈贤华刘民才王健许乔
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
姜海荣
优先权 ：
CN201921944189.4
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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