测试干涉仪的衍射光学元件
公开
摘要
本发明涉及一种用于测量光学表面(102)的形状的测试干涉仪(100)的衍射光学元件(10)，其包括：衍射形状测量结构(16)，其布置在衍射光学元件的使用表面(14)上并且被配置为当衍射光学元件布置在测试干涉仪中时生成用于照射待测量的光学表面的测试波(122)；以及至少一个测试场(18)，被配置为用于测量定位在测试场内的测试结构的多个轮廓性质，轮廓性质表征相对于使用表面横向延伸的测试结构的轮廓并且包括测试结构的轮廓的侧翼角、测试结构的轮廓深度、和在测试结构的沟槽形状的轮廓的基部区域中出现的微沟槽的深度。测试场布置在使用表面的一个位置处而不是衍射形状测量结构，使得测试场由多个衍射形状测量结构围绕。
基本信息
专利标题 ：
测试干涉仪的衍射光学元件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114502914A
申请号 ：
CN202080068030.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-08-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
A.温克勒M.谢德H.M.斯蒂潘J.赫茨勒F.埃泽特
申请人 ：
卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请人地址 ：
德国上科亨
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202080068030.X
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06 G01B11/24 G01B9/02 G01M11/00 G01Q60/24 G02B5/18 G03H1/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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