产生衍射光学元件(1)的方法包括以下步骤：提供具有表面(4)的至少一个基材(3)，以及使用处理装置(5)在基材(3)的表面(4)中生成浮雕结构(2)。处理装置(5)包括具有半径(R)小于大约l微米的尖端(7)的探针(6)。探针(6)相对于基材(3)可移动。通过尖端(7)在基材(3)的表面(4)上的作用生成浮雕结构(2)，使得浮雕结构(2)的表面(8)与基材(3)的表面(4)之间的距离(D)沿第三方向(z)基本上连续地变化。衍射光学元件(1)包括具有表面(8)的浮雕结构(2)，其中，至少在浮雕结构(2)的一部分中，浮雕结构(2)的表面(8)与基材(3)的表面(4)之间的距离(D)基本上连续地变化。虚拟图像显示装置包括这样的衍射光学元件(1)的至少第一衍射光学元件和第二衍射光学元件。