一种衍射光学元件检测系统
授权
摘要
本实用新型提供一种衍射光学元件检测系统,属于衍射光学技术领域,包括光源,以及沿光源出射方向依次设置的锥光镜和图像采集器,所述锥光镜包括傅里叶变换透镜组,衍射光学元件设置于所述光源和所述锥光镜之间,且位于所述锥光镜的焦点位置;还包括控制器,所述图像采集器采集通过所述衍射光学元件和所述锥光镜后形成的衍射图像并发送给所述控制器,所述控制器对所述衍射图像进行处理分析以得到所述衍射光学元件的光学性能。衍射光学元件检测系统可以有效的消除不同衍射级之间的位置畸变和光斑的变形、拉伸等现象,可有效的提供衍射光学元件性能检测的精度。
基本信息
专利标题 :
一种衍射光学元件检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021221257.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-28
授权号 :
CN212340598U
授权日 :
2021-01-12
发明人 :
陈展耀戴书麟刘风雷
申请人 :
东莞埃科思科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市松山湖园区兴业路4号8栋
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
崔熠
优先权 :
CN202021221257.7
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02 G01N21/47
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2021-01-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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