一种衍射光学元件成像观测及评价系统
公开
摘要

本发明公开了一种衍射光学元件成像观测及评价系统,包括激光器、衍射光学元件、衍射光学元件夹持结构和屏幕,衍射光学元件安装于衍射光学元件夹持结构上,激光器、衍射光学元件和屏幕依次共轴放置,激光器发射出射光束,出射光束经衍射光学元件后形成衍射光束入射至屏幕上,本发明所达到的有益效果包括:本发明在使用屏幕进行衍射光场分布观测时,可以先对衍射光学元件进行定性分析,在确定需要进行定量测量时更换屏幕为CCD相机进行数据采集和分析,可以兼具演示和科研实验功能。衍射光学元件的快速切换也可以在外界环境改变较小的情况下完成精密的光学测量工作。

基本信息
专利标题 :
一种衍射光学元件成像观测及评价系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354134A
申请号 :
CN202111559451.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
尤春华卫群李嘉
申请人 :
无锡中微掩模电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区菱湖大道202号
代理机构 :
无锡苏元专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张剑锋
优先权 :
CN202111559451.5
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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