一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜
授权
摘要
本实用新型提供一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜，沿着由物方至像方依次包括光阑S1、第一凹凸负透镜S2、第二双凸正透镜S3、第三凹凸正透镜S4、第四凹凸正透镜S5，所述第一凹凸负透镜S2的焦距为fS2，第二双凸正透镜S3的焦距为fS3，第三凹凸正透镜S4的焦距为fS4，第四凹凸正透镜S5的焦距为fS5，各个透镜焦距满足以下关系式：‑400≤fS2≤‑300；100≤fS3≤150；100≤fS4≤150；200≤fS5≤250。本实用新型的高精度球面标准镜整体结构紧凑，光学总长不超过60mm，可以很好地将50mm范围内的平行光进行汇聚，产生标准的球面波来进行面形偏差的检测。
基本信息
专利标题 ：
一种用于激光干涉仪的高精度球面标准镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921799535.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-24
授权号 ：
CN211425334U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
吴振聪陈玉芳连东沛张昊王敏
申请人 ：
福建师范大学
申请人地址 ：
福建省福州市闽侯县上街镇大学城科技路1号，福建师范大学旗山校区
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
吴志龙
优先权 ：
CN201921799535.4
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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