一种激光平面干涉仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光平面干涉仪，包括密封罩，密封罩内底部设置有微调平台，微调平台上放置有置物台，密封罩顶部两侧对称设置有电动伸缩杆，一侧电动伸缩杆上固定伺服马达，伺服马达输出端设置有主转动台，另一侧电动伸缩杆固定有伺服马达，伺服马达输出端设置有副转动台，主转动台上设置有三个微型气缸，三个微型气缸呈T字形分布，位于中间的微型气缸输出端固定有直夹臂，另外两个微型气缸输出端固定有曲夹臂，两个曲呈夹臂对称设置，副转动台上设置有上设置有微型气缸，副转动台上的微型气缸固定有直夹壁，本实用新型结构合理，能够将测量后的物体在原位置进行翻面。
基本信息
专利标题 ：
一种激光平面干涉仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921154434.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN210180382U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
俞平
申请人 ：
浙江新泰通讯科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区百官街道工业区江广路
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921154434.1
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/00 G01B11/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
