一种激光干涉仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光干涉仪，包括阶梯反射组件，阶梯反射组件包括n个独立的第二反射镜，其中n≥2，且每个第二反射镜均设置有移动器件，第二反射镜用于反射第一分光镜反射的激光发射组件射出的激光。其有益效果是：解决现有技术中对固定反射镜的制造精度要求高的问题，具有加工简单，制造成本较低的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种激光干涉仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123203675.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216348361U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
赵婷婷姬鸿巍马兰兰
申请人 ：
西安玉沣精密测量科技有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市西咸新区泾河新城永乐镇高泾大道东段1606号
代理机构 ：
北京市领专知识产权代理有限公司
代理人 ：
张玲
优先权 ：
CN202123203675.0
主分类号 ：
G01B9/02015
IPC分类号 ：
G01B9/02015
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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