一种激光干涉仪
授权
摘要
本实用新型涉及一种激光干涉仪，包括：激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束。通过激光束三在多组三角反射镜组二与三角反射镜组三之间的往复反射，提高了被测物在同位移量下光程变化量，增大了干涉信号变化量，提高了位移放大倍数，从而提高了位移检测精度。
基本信息
专利标题 ：
一种激光干涉仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920577414.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-25
授权号 ：
CN209559122U
授权日 ：
2019-10-29
发明人 ：
张白孔德超张家坤郑忍
申请人 ：
北方民族大学
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号
代理机构 ：
北京市领专知识产权代理有限公司
代理人 ：
林辉轮
优先权 ：
CN201920577414.9
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2019-10-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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