干涉仪装置

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

摘要

本实用新型所提的干涉仪装置，具有XYZ轴调节单元，该Z轴调节单元置于干涉仪的主体1之外，包括有一Z轴调节单元底座4，复数个Z轴导杆41，一Z轴调节螺杆42，一Z轴调节螺母43；复数个Z轴导杆41的一端固定于XY轴调节单元11(12)上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座4，该底座4通过紧固螺丝固定于干涉仪本体1上，Z轴调节螺杆42通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座4上，Z轴调节螺母43套于Z轴调节螺杆42上；Z轴调节螺杆42与XY轴调节单元11(12)互不接触，Z轴调节螺母43的部分置于XY轴调节单元下面，并互相接触。Z轴调节螺母43转动时，同时可以带动XY轴调节单元一起在Z轴方向进行位移移动，可以检测不同曲率的镜片，并使得镜片检测时间大大减短，提高检测效率。

基本信息

专利标题：

干涉仪装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620153946.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-11-30

授权号：

CN200979404Y

授权日：

2007-11-21

发明人：

肖澜

申请人：

佛山普立华科技有限公司

申请人地址：

528051广东省佛山市城西工业开发区长虹东路1号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200620153946.2

主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02