干涉仪及其信号处理装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
用于测量表面或外形或纹理的装置包括一个光栅干涉仪，该干涉仪包括装在一个枢轴支承臂上的一个弯曲光栅，在支承臂的另一端装有一个探头以和一个表面相接触，探头是由一个电磁线圈绕在一个衔铁上或由一对这样的偏置装置施加偏置力而与表面接触的。一个信号处理线路包括一个条纹计数器和一个内插器，内插器包括一个数字计数器。
基本信息
专利标题 ：
干涉仪及其信号处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1118063A
申请号 ：
CN95103469.3
公开（公告）日 ：
1996-03-06
申请日 ：
1992-05-30
授权号 ：
CN1035454C
授权日 ：
1997-07-16
发明人 ：
I·K·比林D·曼斯菲尔德
申请人 ：
兰克·泰勒·霍布森有限公司
申请人地址 ：
英国英格兰莱斯特
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
王忠忠
优先权 ：
CN95103469.3
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/30
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2004-08-11 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-09-03 ：
著录项目变更
变更事项 : 专利权人
变更前 : 兰克·泰勒·霍布森有限公司
变更后 : 泰勒·霍布森有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 英国英格兰
变更后 : 英国英格兰
变更前 : 兰克·泰勒·霍布森有限公司
变更后 : 泰勒·霍布森有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 英国英格兰
变更后 : 英国英格兰
1997-07-16 ：
授权
1996-03-06 ：
公开
1996-02-14 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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