一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置

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摘要

一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，包括测量机构、信号处理机构，所述测量机构、信号处理机构依次连接，所述测量机构安装在激光器的一侧；所述测量机构包括分光镜、检偏器一、光电探测器一、偏振分光镜一、平面反射镜一、检偏器二、光电探测器二、法拉第旋光器、角度探测单元、平面反射镜二、角锥棱镜；所述激光器、分光镜、偏振分光镜一、法拉第旋光器、角度探测单元、角锥棱镜从左至右依次设置。本实用新型所述的用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置，解决了激光干涉仪在使用过程中由于光源、环境干扰等因素导致信号存在直流漂移、幅值稳定性、相位误差等误差的问题，实现干涉仪信号的实时补偿和高精度测量，应用前景广泛。

基本信息

专利标题：

一种用于激光干涉仪信号误差的实时补偿装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020026455.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-07

授权号：

CN211346687U

授权日：

2020-08-25

发明人：

王志松

申请人：

昆山全特精密机械有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市巴城镇正仪环城西路

代理机构：

苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

刘燕娇

优先权：

CN202020026455.1

主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02 G01B11/02