干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法
实质审查的生效
摘要
本发明实现了一种干涉仪装置（10），所述干涉仪装置包括法布里‑珀罗干涉仪（1），该法布里‑珀罗干涉仪包括：至少两个彼此隔开的反射镜装置（SP1；SP2）以及基底（2），其中，所述反射镜装置（SP1；SP2）分别平行地布置在所述基底（2）上，并且所述反射镜装置（SP1；SP2）中的至少一个反射镜装置能够相对于基底（2）运动；基础基底（3），该基础基底包括穴腔（4）和至少一个电印制导线（5），其中，所述法布里‑珀罗干涉仪（1）布置在所述基础基底（3）上并且覆盖所述穴腔（4）；和至少一个探测器装置（6），所述探测器装置布置在所述穴腔（4）中并且借助于所述电印制导线（5）来电接触。
基本信息
专利标题 ：
干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341601A
申请号 ：
CN202080061581.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-07-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
N·明齐鲁利C·谢林
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
李雪莹
优先权 ：
CN202080061581.3
主分类号 ：
G01J3/26
IPC分类号 ：
G01J3/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色
G01J3/12
光谱的产生；单色器
G01J3/26
应用多次反射，例如，法布里—珀罗干涉仪，可变干涉滤光器
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 3/26
申请日 : 20200701
申请日 : 20200701
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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