直流驱动型超导量子干涉仪元件及其制造方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明提供一种DC-SQUID元件及其制造方法，它是在基板上将超导薄膜图案成形，制出SQUID环、反电极、调制线圈以及输入线圈，并将它们叠成层，SQUID环和反电极由通过势垒层的微桥在两处弱连接，得到两个约瑟夫逊结，其中，上述SQUID环是设置在元件的最下层，而反电极设置在最上层。用上述方法制成的DC-SQUID元件可调整临界电流值。
基本信息
专利标题 ：
直流驱动型超导量子干涉仪元件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1060926A
申请号 ：
CN91108930.6
公开（公告）日 ：
1992-05-06
申请日 ：
1991-09-09
授权号 ：
CN1029057C
授权日 ：
1995-06-21
发明人 ：
品田惠
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都市
代理机构 ：
上海专利商标事务所
代理人 ：
沈昭坤
优先权 ：
CN91108930.6
主分类号 ：
H01L39/22
IPC分类号 ：
H01L39/22 H01L39/24
法律状态
1997-10-22 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1995-06-21 ：
授权
1993-12-15 ：
实质审查请求的生效
1992-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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