用于干涉仪非线性补偿的系统和方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种用于对从测量信号中生成的干涉仪位置数据进行非线性补偿的方法，包括基于接收到的数字位置值来生成第一组非线性参数。该方法包括感知是否存在低速状况。如果存在低速状况，则基于估计出的测量信号的幅度来更新非线性参数中的第一个。如果存在低速状况，则基于更新后的非线性参数来补偿至少一个数字位置值。
基本信息
专利标题 ：
用于干涉仪非线性补偿的系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1873368A
申请号 ：
CN200610057744.2
公开（公告）日 ：
2006-12-06
申请日 ：
2006-02-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
戴维·C·楚李·C·卡勒姆威廉·柯雷·施鲁赫特尔
申请人 ：
安捷伦科技有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王怡
优先权 ：
CN200610057744.2
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2009-03-25 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-01-31 ：
实质审查的生效
2006-12-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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