曝光对准的补偿方法及补偿系统
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摘要
本发明涉及一种曝光对准的补偿方法及补偿系统，包括：获取对准图形的原始数据；对所述原始数据进行一阶处理，以得到一阶求导数据；在所述曝光对准存在偏差时，基于所述原始数据及所述一阶求导数据得到补偿值；基于所述补偿值对曝光对准进行补偿。本发明的曝光对准的补偿方法通过对原始数据进行一阶处理得到一阶求导数据，再基于原始数据和一阶求导数据得到补偿值对曝光对准进行补偿，补偿精度较高，可以优化曝光对准的精确度。
基本信息
专利标题 ：
曝光对准的补偿方法及补偿系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113093485A
申请号 ：
CN202110362010.X
公开（公告）日 ：
2021-07-09
申请日 ：
2021-04-02
授权号 ：
CN113093485B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
张胜安赵磊
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
史治法
优先权 ：
CN202110362010.X
主分类号 ：
G03F9/00
IPC分类号 ：
G03F9/00
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-07-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 9/00
申请日 : 20210402
申请日 : 20210402
2021-07-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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