本发明公开一种对准系统及对准标记，其中该对准系统包含一光源用于发射一光线，一对准标记设置于一基底上，对准标记用于接受第一光线，对准标记包含一第一图案和一第二图案设置于基底上，第一图案包含一第一区域和一第二区域，第二图案包含一第三区域和一第四区域，第一区域和第三区域相对于一对称轴呈对称，第二区域和第四区域相对于对称轴呈对称，第一区域包含有多条第一标记线互相平行，相邻的第一标记线具有第一间距，第二区域包含有多条第二标记线互相平行，相邻的第二标记线具有第二间距，第一间距和第二间距相异，一传感器用于检测由对准标记绕射光线而来的一绕射光。