使用物理对准标记和虚拟对准标记进行对准
授权
摘要
一种用于加工电气器件(100)的对准的方法，其中，该方法包括：在电气器件(100)上限定至少三个物理对准标记(102)；基于所限定的至少三个物理对准标记(102)确定至少一个虚拟对准标记(104)；以及利用物理对准标记(102)中的至少三个和至少一个虚拟对准标记(104)中的至少一个进行对准以加工电气器件(100)。
基本信息
专利标题 ：
使用物理对准标记和虚拟对准标记进行对准
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110191568A
申请号 ：
CN201810154272.5
公开（公告）日 ：
2019-08-30
申请日 ：
2018-02-22
授权号 ：
CN110191568B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
安妮·泰伊菲斯·阿卜德尔拉扎克陈赵健
申请人 ：
奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司
申请人地址 ：
奥地利莱奥本
代理机构 ：
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王晖
优先权 ：
CN201810154272.5
主分类号 ：
H05K1/02
IPC分类号 ：
H05K1/02 H05K3/00
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法律状态
2022-05-13 ：
授权
2019-09-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 1/02
申请日 : 20180222
申请日 : 20180222
2019-08-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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