感测对准标记的设备和方法
公开
摘要
一种感测对准标记的设备和方法，其中基于自参考干涉仪的传感器输出所述对准标记的静止图像，并且相机装置用以捕获如由所述传感器输出的所述图像，并且检测器用以如由所述传从感器输出的所述图像获得有关所述对准标记的相位信息。
基本信息
专利标题 ：
感测对准标记的设备和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114585972A
申请号 ：
CN202080073644.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
K·肖梅I·M·P·阿蒂斯李晙源
申请人 ：
ASML控股股份有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王益
优先权 ：
CN202080073644.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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