对准标记结构
公开
摘要
本发明提供一种对准标记结构，包括基底、透光层与反射层。透光层设置在基底上。反射层覆盖透光层的整个顶面。反射层具有凹部。上述对准标记结构可防止干扰信号产生。
基本信息
专利标题 ：
对准标记结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566486A
申请号 ：
CN202110655029.3
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-06-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
魏旭志黄尧峰温文莹
申请人 ：
新唐科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹科学工业园区
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛平
优先权 ：
CN202110655029.3
主分类号 ：
H01L23/544
IPC分类号 ：
H01L23/544
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/544
加到半导体器件上的标志，例如注册商标、测试图案
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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