本发明提供用于曝光装置的对准标记系统，第一对准区域包括第一多边形和第二多边形对准后得到宽为f的第一通道；第一多边形与第二多边形为相似多边形且半径相差f；相似多边形边数为偶数2n，且n为3‑6；第二对准区域包括由矩形对准标记和内嵌对准标记对准得到的宽为f的第二通道；矩形对准标记的宽为a，高为b；内嵌对准标记包括横部区域和竖部区域，横部区域包括宽为c，厚为d的第一矩形，竖部区域包括宽为e，高为g的第二矩形，c=a，g=b，e=a‑2f；从而使得对准后得到宽度为f的第二通道。本发明还提供自动对准方法和一种曝光装置。本发明可以实现掩模版和曝光对象之间的快速对准，并同时可用于手动曝光机和自动曝光机。