曝光机的对准定位装置

专利权的终止

摘要

一种曝光机的对准定位装置，包括：一机台、一工件承座、一光罩承座、一曝光头；该工件承座是设于该机台上，其是用以固定一工件，工件承座至少有一第一伸缩装置、一固定座、一活动座及一活动座固定装置；第一伸缩装置是介于机台与固定座间，固定座设一半球凹部，活动座设一与该半球凹部相对应的半球凸部，使半球凹部与半球凸部相配合而可任意方向微量倾斜，活动座固定装置供固定活动座；光罩承座用以固定一光罩；曝光头用以发出预定光线穿透该光罩使工件曝光。本实用新型具有较佳的调整效果，且调整快速，可多方向自动调整，其调整后的光罩与工件间具有一预定间隙。

基本信息

专利标题：

曝光机的对准定位装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620137897.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-09-29

授权号：

CN200972571Y

授权日：

2007-11-07

发明人：

林宪维

申请人：

科毅科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾

代理机构：

天津三元专利商标代理有限责任公司

代理人：

郑永康

优先权：

CN200620137897.3

主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F9/00