高精度大孔径移相式数字平面干涉仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明公开了一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要由立式菲索干涉仪、扩展装置、移相器及驱动源、控制源、图像采集系统和微机等组成。其优点是仪器的有效检测孔径为Φ２４５ｍｍ，准确度为λ／５０（峰—谷值），系统光学质量为λ／２０，扩展孔径达到Φ５００ｍｍ，准确度为λ／２０。本仪器可自动校正移相器的非线性位移误差，并采用带阻尼扳的液面作为校正仪器系统误差的基准平面，使仪器检测精度得到提高，特别适用于大口径光学平面玻璃的检测。
基本信息
专利标题 ：
高精度大孔径移相式数字平面干涉仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1096873A
申请号 ：
CN93111560.4
公开（公告）日 ：
1994-12-28
申请日 ：
1993-06-26
授权号 ：
CN1038781C
授权日 ：
1998-06-17
发明人 ：
陈进榜宋德真朱日宏陈道炯王青陈磊唐文达何勇贡元庆李顺义金国佑余益吾
申请人 ：
南京理工大学
申请人地址 ：
210014江苏省南京市孝陵卫200号
代理机构 ：
南京理工大学专利事务所
代理人 ：
张骏鸣
优先权 ：
CN93111560.4
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2002-08-28 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-06-17 ：
授权
1996-01-03 ：
实质审查请求的生效
1995-12-27 ：
实质审查请求的生效
1994-12-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
