同步移相菲索干涉仪
专利权的终止
摘要

一种同步移相菲索干涉仪,其构成是沿所述的线偏振激光光源的光束前进方向上,依次是所述的二分之一波片、聚焦透镜、光阑、分束器、第一准直透镜、双折射薄膜型标准镜,所述的光阑位于所述的聚焦透镜的后焦点和所述的第一准直透镜的前焦点,在所述的分束器的垂直于上述光束前进方向的方向上依次是第二准直透镜与同步移相器,待测面处于所述的线偏振激光光源的光束经过所述的双折射薄膜型标准镜的出射方向上,所述的双折射薄膜型标准镜是一块标准平板并在该标准平板的入射面有增透膜,出射面具有双折射薄膜和增透膜,所述的双折射薄膜的相位延迟量为90°。本实用新型具有无原理性回程误差、测量距离远、结构简单、易于操作的特点。

基本信息
专利标题 :
同步移相菲索干涉仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820151412.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-07-30
授权号 :
CN201251428Y
授权日 :
2009-06-03
发明人 :
曾爱军郭小娴江晓军谢承科黄惠杰王向朝
申请人 :
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 :
201800上海市800-211邮政信箱
代理机构 :
上海新天专利代理有限公司
代理人 :
张泽纯
优先权 :
CN200820151412.5
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02  G01B11/24  G01J9/02  G02B1/10  G02B5/30  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2010-09-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005907378
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2008201514125
申请日 : 20080730
授权公告日 : 20090603
2009-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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