一种激光相位光栅干涉位移传感器，包括半导体激光器、平行弹簧、透射光栅、±1级平面反射镜、分光棱镜、干涉光平面反射镜、扩束透镜、光电接收器和信号处理电路。激光器和透射光栅分别固定于平行弹簧的前、后支架；连杆与平行弹簧的后支架下端部连接，并通过触球与测杆相连，测杆安装在轴承上，探针固定在测杆的另一端；激光器发出的光束依次经过透射光栅、平面反射镜、分光棱镜产生干涉条纹，干涉条纹经透镜扩束后由光电接收器接收，并将光信号转化为电信号，再传送给信号处理电路处理后输出。本实用新型具有测量范围大、测量精度高、结构简单、成本低的特点。该传感器可用于测量工件的表面轮廓和表面粗糙度，测量范围为0～3mm、分辨率可达6nm。