一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型公开了一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器。整体切割平行弹簧由一块弹簧钢板切割而成的机架和平行弹簧二部分构成,激光器位于机架上;标尺光栅固定在平行弹簧的端部;三个光栅相互平行;连接杆与标尺光栅连接,并通过铰链与测杆相连,测杆安装在十字簧片铰链上,触针固定在测杆的另一端;激光器发出的光束依次经过三个光栅产生干涉条纹,光电探测器接收三路干涉条纹,并将光信号转化为电信号,再传送给信号处理电路处理后输出。本实用新型测量位移传感器具有测量范围大、测量精度高、结构简单、成本低和无装配误差的特点。该传感器可用于测量工件的轮廓尺寸、表面形状误差、表面波度及表面粗糙度,该传感器测量范围为0~8mm、分辨率可达5nm。
基本信息
专利标题 :
一种大量程直线型相位光栅轮廓测量位移传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620163638.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-12-08
授权号 :
CN200982859Y
授权日 :
2007-11-28
发明人 :
王淑珍常素萍谢铁邦
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
曹葆青
优先权 :
CN200620163638.8
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24 G01B11/25 G01B11/02 G01D5/34 G01D5/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2010-02-03 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-11-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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