锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法

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摘要

本发明提供一种锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法，其中锥面衍射式光栅位移测量装置包括：用于发出测量光束的激光二极管、准直透镜、偏振分束棱镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、相移测量单元；本发明根据锥面衍射原理，优化了光栅位移测量装置的光学结构，减少了四分之一波片的使用，避免了由于四分之一波片加工与安装误差造成的非线性误差，测量精度高；本发明装置包含反射装置，使得测量光束可再次经过被测光栅，保证了更高倍数的光学细分。

基本信息

专利标题：

锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113819846A

申请号：

CN202111104433.8

公开（公告）日：

2021-12-21

申请日：

2021-09-18

授权号：

CN113819846B

授权日：

2022-05-31

发明人：

李文昊刘兆武王玮刘林姜珊于宏柱姜岩秀

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请人地址：

吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

高一明

优先权：

CN202111104433.8

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02