一种光栅衍射角谱自动测量系统
授权
摘要

本发明公开了一种光栅衍射角谱自动测量系统。该系统包括激光源、扫描转台、样品转台、光电传感器、传感器支架和光电信号检测装置,其中,所述激光源放置在高度可调的支架上,所述传感器支架用于承载所述光电传感器,所述样品转台用于承载待测光栅,所述光电信号检测装置被配置为控制所述扫描转台和所述样品转台以预定的旋转角度转动,进而调整待测光栅的入射角并进行光栅衍射角谱扫描,获得光栅衍射角谱测量结果。本发明能够进行不同入射角下的衍射角谱测量,精确测量光栅各级次衍射效率和衍射级次之间的杂散光情况,准确反映衍射光、杂散光的量级差异。

基本信息
专利标题 :
一种光栅衍射角谱自动测量系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111766048A
申请号 :
CN202010738785.8
公开(公告)日 :
2020-10-13
申请日 :
2020-07-28
授权号 :
CN111766048B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
余明林慧马翠赖厚湖
申请人 :
深圳先进技术研究院
申请人地址 :
广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
代理机构 :
北京市诚辉律师事务所
代理人 :
耿慧敏
优先权 :
CN202010738785.8
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-04-22 :
授权
2020-10-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20200728
2020-10-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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