一种衍射光栅在线检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种衍射光栅在线检测装置，涉及光学加工领域，包括衍射光栅、光源、分束器、棱镜，衍射光栅上设有刻槽面，刻槽面上设有刻槽线，刻槽线与参考面之间设有光栅角；光源发射的光经由分束器分成三束平行光，分束器与参考面垂直，棱镜的两个反射面也与参考面垂直。本实用新型在衍射光栅上设置刻槽线，通过分束器将光源分成三束平行的光束，利用第一光束在衍射光栅上产生的两条衍射光，第二光束和第三光束在棱镜反射面作用下产生第一反射光和第二反射光的，将衍射光的传播方向与反射光的传播方向进行对比，从而精确的判断光栅刻槽方向与参考面之间的关系，利用新颖的光路设计，实现对衍射光栅精确定位的功能。
基本信息
专利标题 ：
一种衍射光栅在线检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021069051.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
CN212228351U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
周敢张邦武
申请人 ：
腾景科技股份有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市马尾科技园区茶山路1号1楼A栋五层、B栋三层(自贸试验区内)
代理机构 ：
福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴德兰
优先权 ：
CN202021069051.7
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G02B27/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
