体全息光栅衍射波前测量系统及其测量方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种体全息光栅衍射波前测量系统及其测量方法,其中的测量系统包括激光光源,用于发射激光;扩束准直透镜,设置在激光光源的出射方向上,用于将激光扩束准直为准直激光;分光器件,设置在扩束准直透镜的出射方向上,用于实现对准直激光进行透射与反射;相移组件,设置在分光器件的透射方向上,用于带动体全息光栅进行移动;反射镜,设置在体全息光栅的出光方向上,用于通过前后表面分别对体全息光栅的出射光进行反射并返回至分光器件;成像装置,设置在分光器件的反射方向上,用于接收经分光器件反射的光形成干涉图像。本发明中的激光光源可替换,进而获得全工作谱段的波前误差结果,以及采用相移干涉原理,具有极高的波前检测精度。
基本信息
专利标题 :
体全息光栅衍射波前测量系统及其测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486194A
申请号 :
CN202210100913.5
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
代雷蔺超景岩向阳王硕
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 :
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 :
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
高一明
优先权 :
CN202210100913.5
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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