轮廓测量用接触式位移传感器
专利申请的视为撤回
摘要
本发明涉及一种传感器。它采用反射型柱面全息衍射光栅，传感器的触针位移用干涉信号的脉冲当量来瞄述，干涉信号的脉冲当量为光栅常数的一半，它不随入射光波长的变化而变化，因此具有较短的干涉光路，有宽的动态范围，解决了任意曲面表面粗糙度测量困难，并可进一步用于形状误差、浓度及粗糙度和综合测量。本发明结构简单，成本低，易于商品化。
基本信息
专利标题 ：
轮廓测量用接触式位移传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1108384A
申请号 ：
CN94101873.3
公开（公告）日 ：
1995-09-13
申请日 ：
1994-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蒋向前谢铁邦肖少军谷庭西路晓东姚彩佩李柱
申请人 ：
华中理工大学
申请人地址 ：
430074湖北省武汉市武昌珞喻路151号
代理机构 ：
华中理工大学专利事务所
代理人 ：
骆如碧
优先权 ：
CN94101873.3
主分类号 ：
G01D5/32
IPC分类号 ：
G01D5/32 G01B11/30 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光
G01D5/32
利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞
法律状态
2000-10-04 ：
专利申请的视为撤回
1997-06-04 ：
实质审查请求的生效
1995-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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