一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法
授权
摘要
本发明专利涉及一种激光干涉面形检测自动检测装置和方法，包括：激光干涉仪、双目相机、衍射光斑接收相机、CGH、带中心通光孔的光斑接收屏、被测镜以及投影叉丝探测器，其中，激光干涉仪与双目相机固连，衍射光斑接收相机与CGH固连，被测镜与投影叉丝探测器固连；CGH置于激光干涉仪标准镜的焦点前方上远离激光干涉仪方向；带中心通光孔的光斑接收屏可以在激光干涉仪标准镜的焦点移除和放回。基于双目相机、投影叉丝质心探测器、多级衍射光斑识别定位传感器、干涉条纹像差解耦的激光干涉面形检测光路多级位姿自动调整方法，实现从mm级机械定位到亚μm级的光学定位，从而完成nm级的光学元件面形自动检测。
基本信息
专利标题 ：
一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111536896A
申请号 ：
CN202010270880.X
公开（公告）日 ：
2020-08-14
申请日 ：
2020-04-09
授权号 ：
CN111536896B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
陶小平张学军胡海翔程强薛栋林邓伟杰
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 ：
吉林省长春市东南湖大路3888号
代理机构 ：
北京理工大学专利中心
代理人 ：
李爱英
优先权 ：
CN202010270880.X
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-09-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20200409
申请日 : 20200409
2020-08-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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