面形检测系统及检测方法
公开
摘要
本发明公开了一种面形检测系统，包括光耦合单元、米勒偏振干涉单元和检测计算单元，光耦合单元包括合束组件和扩束系统，米勒偏振干涉单元包括显微物镜、偏振分光板和参考反射镜，检测计算单元包括四分之一波片、彩色偏振相机和计算模块。本发明通过将RGB三色光耦合进入米勒偏振干涉物镜，并采用彩色偏振相机完成RGB三个波长通道的分离和提取，同时利用彩色偏振相机中四个相邻的微偏振片阵列对各个波长通道的干涉图实现步长为π/2的四步移相，不仅能实现多波长移相干涉测量，增大动态测量范围，且通过单次采图即可计算得到RGB三个波长通道的四幅瞬态移相干涉图，具有很强的抗干扰能力，具有高精度、快速测量、低成本的优点。
基本信息
专利标题 ：
面形检测系统及检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577111A
申请号 ：
CN202210263969.2
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
沃林沃家
申请人 ：
苏州英示测量科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区向阳路80号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王广浩
优先权 ：
CN202210263969.2
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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