本实用新型公开了一种任意姿态光学元件在位面形检测装置，结构灵活，用工业机器人取代了干涉仪的各种支撑调节平台和装置，使干涉仪的位置姿态调整更方便，同时简化了光学元件支撑机构，使其可以不用具有自由度调节功能；方法新颖，将动态干涉仪与工业机器人相结合，解决了重力倾斜姿态下的在位面形测量问题；应用范围广，可以同时满足各种姿态下的面形测量问题；环境适应性好，使用动态干涉仪，能够将干涉测量扩展到各种测量环境中，同时保证其测量精度和重复性；测量简单高效，引入了干涉条纹监控系统，实现了干涉条纹的自动调整，提高了测量效率。