通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种不使用机械相移方式进行相移测量的面形检测相移干涉仪，通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪，依次连接有标准镜、成像系统、准直系统、扩束聚焦系统、激光器模块、计算机和图像采集系统，其中准直系统还与图像采集系统相连，所述激光器模块采用波长可调谐激光器。本实用新型通过改变可调谐激光器波长的方式，使干涉仪的干涉条纹产生系列相位移动，进而计算出原始的波面相位，不需要移动干涉仪任何器件，就能实现稳定、可靠和高精度的测量，特别适合于大口径干涉仪。

基本信息

专利标题：

通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620033979.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-04-25

授权号：

CN200950056Y

授权日：

2007-09-19

发明人：

柴立群许乔王涛

申请人：

成都太科光电技术有限责任公司

申请人地址：

610041四川省成都市高新区科园一路3号

代理机构：

成都虹桥专利事务所

代理人：

蒲敏

优先权：

CN200620033979.3

主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02