波长调谐相移干涉测试装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种波长调谐相移干涉测试装置及测试方法，包括波长调谐激光器、干涉测试系统、干涉图样采集系统三部分。本实用新型克服了常规干涉仪机械相移器安装繁琐、结构复杂等问题，通过采用自修正相位测试原理，可计算得到干涉腔腔长值，并修正相移误差，从而实现整体干涉仪系统的高精度、高效率检测。实验表明，本实用新型系统装置相位修正误差值为±π/50，系统重复性精度为λ/1000～λ/2000。
基本信息
专利标题 ：
波长调谐相移干涉测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020104005.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN211373498U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
赵智亮陈立华刘敏张志华龚小康
申请人 ：
成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮
申请人地址 ：
四川省成都市科园一路3号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202020104005.X
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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