一种偏振同步相移点衍射干涉仪
实质审查的生效
摘要
一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法，干涉仪的组成包括：理想波前发生模块、待测光学系统、像面掩模、偏振相移模块、二维偏振成像光电探测器和数据处理单元。本发明采用单个光电探测器实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有抑制环境干扰、光路灵活、测量精度高、能够标定干涉仪系统误差等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种偏振同步相移点衍射干涉仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114322748A
申请号 ：
CN202111392143.8
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯鹏李中梁王向朝步扬
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202111392143.8
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20211119
申请日 : 20211119
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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