一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法
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摘要
本发明公开了一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法。本干涉仪结构包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶。通过特定的入射角，本干涉仪在屏幕上所显示的干涉条纹，与常规正入射干涉仪的条纹完全一致，适合目视观察与快速判读。本干涉仪可以测量常规正入射干涉仪无法直接测量直角棱镜大面面形，无需对直角面进行涂覆。在直角棱镜加工中具有重要应用。
基本信息
专利标题 ：
一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110553580A
申请号 ：
CN201910484615.9
公开（公告）日 ：
2019-12-10
申请日 ：
2019-06-04
授权号 ：
CN110553580B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
王子瀚
申请人 ：
南京英特飞光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市玄武区孝陵卫双拜巷78号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
李凤娇
优先权 ：
CN201910484615.9
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2020-01-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20190604
申请日 : 20190604
2019-12-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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