类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面等光程成像检测装置
授权
摘要
本实用新型提供一种类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面等光程成像检测装置，包括光源、纵向同轴设置的相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、半导体晶粒，半透半反射平行平板合像器同一水平高度设置有平行平板补偿器及位于半导体晶粒正上方的天面直角转向棱镜，半导体晶粒同一水平高度与半透半反射平行平板合像器正下方设置有侧面直角转向棱镜，该装置在满足双面成像完全等光程共焦的条件下，获得相邻面的空间分离成像，能通过调节平行平板补偿器与光轴的夹角来校正补偿误差，从而可以实现半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，结构简单紧凑，装配调试容易，可靠性佳。
基本信息
专利标题 ：
类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面等光程成像检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021549292.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212808013U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
郑恒陈武颜少彬段亚凡廖廷俤
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市丰泽区东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
吴志龙
优先权 ：
CN202021549292.1
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
