基于平行平板分像相邻面的完全等光程共焦成像检测装置
授权
摘要
本实用新型申请提出一种基于平行平板分像相邻面的完全等光程共焦成像检测装置，在相邻双面成像光路中分别采用一块平行平板来实现相邻双面空间分离成像检测的新方法。与偏振分像法、双色分离成像法或时间差分辨成像法一样，该新方法可以获得半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，但无需使用偏振光学元件与偏振CMOS传感器（相机）、或彩色相机及其额外的图像处理，有效提高了检测装置的性价比与检测效率。
基本信息
专利标题 ：
基于平行平板分像相邻面的完全等光程共焦成像检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021087073.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-13
授权号 ：
CN212646440U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
廖廷俤颜少彬
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市丰泽区东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林捷
优先权 ：
CN202021087073.6
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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