半导体晶粒相邻面同时准等光程共焦成像检测的新装置
授权
摘要
本实用新型公开一种半导体晶粒相邻面同时准等光程共焦成像检测的新装置，包括在光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、半透半反射合像器、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明载物台，在半导体晶粒与半透半反射合像器之间的光路上分别设有第一直角转像棱镜和第二直角转像棱镜，第二直角转像棱镜位于远心成像镜头光轴的第一侧部，两个直角转像棱镜各自的两个直角面均与光路垂直，半导体晶粒的至少两个面分别经直角转像棱镜、半透半反射合像器以双光路成像在相机传感器面上不同的区域位置。本实用新型优点：可获得晶粒相邻面准等光程共焦成像且等照度照明的检测；相邻面双像之间的距离大小△可调整。
基本信息
专利标题 ：
半导体晶粒相邻面同时准等光程共焦成像检测的新装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020305128.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-12
授权号 ：
CN211856323U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
廖廷俤陈武付宝玉
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市丰泽区东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林捷
优先权 ：
CN202020305128.X
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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