晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置
授权
摘要
本实用新型晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置，该装置包括在垂直光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、合像光学元件和半导体晶粒，所述合像光学元件与半导体晶粒之间的两侧部设有梯形转像棱镜，半导体晶粒的两个侧面分别通过梯形转像棱镜、合像光学元件以双光路成像在相机传感器面上不同的区域位置,本实用新型以单一的合像光学元件取代两个独立的直角转像棱镜实现双面成像光路的合像功能，该方案装配结构简单，合像光路调试更简易方便，且双面合像精度更高。
基本信息
专利标题 ：
晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020230481.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-01
授权号 ：
CN211856382U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
廖廷俤颜少彬段亚凡李世展
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市丰泽区东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林捷
优先权 ：
CN202020230481.6
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/95 G02B17/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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