偏振分离成像法晶粒双面完全等光程共焦成像检测的装置
授权
摘要
本实用新型公开一种偏振分离成像法晶粒双面完全等光程共焦成像检测的装置，该装置包括在光路方向上依次设置CMOS或CCD偏振相机、远心成像镜头、偏振立方分束器、直角转像棱镜、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，本实用新型装置的优点：可实现待测物体相邻双面同时完全等光程共焦偏振成像检测，即△=0，无需使用大景深远心镜头来补偿双面成像的光程差；相邻双面同时偏振成像检测装置结构简单紧凑且装配调试容易。
基本信息
专利标题 ：
偏振分离成像法晶粒双面完全等光程共焦成像检测的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020458695.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-01
授权号 ：
CN212031317U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
廖廷俤黄衍堂颜少彬
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市丰泽区东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林捷
优先权 ：
CN202020458695.9
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/03
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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