使用偏振分像法实现晶粒双面同时等光程共焦检测的装置
授权
摘要
本实用新型公开一种使用偏振分像法实现晶粒双面同时等光程共焦检测的装置，该装置包括在光路方向上依次设置CMOS或CCD相机、远心成像镜头、偏振分像棱镜组件、偏振立方分束器、直角转像棱镜、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，本实用新型装置及方法的优点：半导体晶粒相邻面的双像在偏振分像棱镜组件上空间位置虽然分开，但是半导体晶粒双面偏振成像却满足完全等光程即△=0，或准等光程△≈0。
基本信息
专利标题 ：
使用偏振分像法实现晶粒双面同时等光程共焦检测的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020556748.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-15
授权号 ：
CN212031285U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
廖廷俤颜少彬段亚凡黄衍堂
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市丰泽区东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林捷
优先权 ：
CN202020556748.0
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G02B5/04 G02B13/22 G02B27/28 G03B15/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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