实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装...
公开
摘要
本发明涉及半导体领域的光学仪器，特别涉及一种实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法，其特征在于：其中光学装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、四面合像复合棱镜组件、四组转像棱镜组件、半导体晶粒和玻璃载物转盘，所述四面合像复合棱镜组件位于远心成像镜头的光轴上；该检测装置与方法简化了筛选机系统的结构复杂性，降低了筛选机系统的成本。
基本信息
专利标题 ：
实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624245A
申请号 ：
CN202210514315.2
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-05-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
廖廷俤颜少彬林晓丹郑恒段亚凡黄衍堂
申请人 ：
泉州师范学院
申请人地址 ：
福建省泉州市东海大街398号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
蔡学俊
优先权 ：
CN202210514315.2
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G02B13/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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