一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置
授权
摘要
本实用新型属于几何测量装置检定装置技术领域，涉及一种激光干涉仪检定装置，尤其是一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜，移动反射镜和标准激光干涉仪，在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置固定有待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉镜的镜面等距设置，由待检的激光干涉仪出射的激光束与标准激光干涉仪出射的激光束共光路形成叠加光束。
基本信息
专利标题 ：
一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021247831.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-01
授权号 ：
CN212721291U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
刘红光
申请人 ：
天津市计量监督检测科学研究院
申请人地址 ：
天津市南开区科研西路4号
代理机构 ：
天津盛理知识产权代理有限公司
代理人 ：
张博
优先权 ：
CN202021247831.6
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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