在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置
授权
摘要
本实用新型提出一种在线泰曼‑格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于，包括：激光器光源、扩束系统、起偏器、检偏器、两个1/4玻片、偏振分光棱镜、平面参考镜、待测成盘加工的球面镜片、球面标准镜、成像镜组和光电传感器CCD。其实现扩束后的平行光经过分光元件分成参考光和测试光，测试光经过标准镜汇聚成标准球面波且与待测镜片曲率中心重合，并原光路返回至干涉光路与参考光形成相干光束。此光路利用非对称的泰曼‑格林干涉光路来检测成盘镜片，其优点是结构紧凑，易于小型化，同时也契合大批量镜片检测的需求，使得检测过程更加简单、便利，实现球面镜片不下盘检测的问题。
基本信息
专利标题 ：
在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921949708.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-13
授权号 ：
CN210774624U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
王敏吴振聪陈玉芳连东沛张昊
申请人 ：
福建师范大学
申请人地址 ：
福建省福州市闽侯县上街镇大学城科技路1号，福建师范大学旗山校区
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
丘鸿超
优先权 ：
CN201921949708.6
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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