一种承载装置及检测设备
公开
摘要
本发明提供一种承载装置，该承载装置包括承载盘，该承载盘用于承载待承载对象，该承载盘具有承载面，且承载盘设有气孔，气孔与压力供给装置连通；气孔包括第一气孔，该第一气孔的通气尺寸可调节。通过使设置第一气孔的通气尺寸可调可改变第一气孔的通气气流，从而改变承载面和待测对象之间的中心区域的气压，使中心区域与其他区域尤其是边缘区域的气压保持一致，防止被承载对象发生形变。
基本信息
专利标题 ：
一种承载装置及检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114384278A
申请号 ：
CN202011169802.7
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈鲁邓曾红黄有为
申请人 ：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邵泳城
优先权 ：
CN202011169802.7
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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